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烟台加热式 100~200℃ 电容式膜片真空计

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烟台加热式 100~200℃ 电容式膜片真空计

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  • 规格
  • 零件号
  • 耗材

加热式 100~200℃ 电容式膜片真空计

高温应用性能良好


产品

SKY® CDG100D 0。1 。。。 1000 托/毫巴

SKY® CDG160D 1 ... 1000 托 / 毫巴

SKY® CDG200D 1 ... 1000 托 / 毫巴


益处

拥有成本更低,预热速度快 50%,节能,低功耗

易于集成,各种满刻度、法兰和接口,标配两个设定点

轻松一键调零或远程信号调零指令,可调零点偏移

诊断端口用于快速维修和维护

两年保修服务,先进的加热概念和真空计保护延长了使用寿命

卓越的信号稳定性和可重复性,即使是最苛刻的等离子应用,都无需长期执行重新校准

合规性与标准: CE、EN、UL、SEMI、RoHS

典型应用

用于刻蚀、CVD、PVD 和其他半导体制造过程

化学和腐蚀性高温过程

需要真空计保护的一般薄膜和真空过程

新闻

配备 EtherCAT 数字接口现在可用!


规格

类型

1000 ... 500 Torr / mbar

200 。。。 1 Torr / mbar

0.5 ... 0.1 Torr / mbar



精度 (1)

% of reading

0。2

0.2

0。4

温度效应




零点

percent FS/°C

0。0025

0.0025

0.005

满量程

% of reading / °C

0。02

0。02

0。02

压力,最大

kPa (absolute)

400

260

130

分辨率

percent FS

0。003

0.003

0.003

最低读数

percent FS

0。01

0.01

0。01

建议的最低读数

percent FS

0.05

0.05

0.05

建议的最低控制压力

percent FS

0.5

0.5

0.5

温度




运行(周围环境)(5)

°C

+10 … +50



在法兰处烘烤

°C

≤110

≤110

≤110

贮存

°C

–20 … +65

–40 … +65

–40 … +65

电源电压


+14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)

+14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)

+14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)

功耗




加热时

W

≤15

≤15

≤15

运行温度

W

≤10

≤10

≤10

输出信号(模拟)

V (dc)

0 … +10

0 … +10

0 … +10

反应时间 (2)

ms

30

30

130 / 30 (3)

保护等级


IP 40

IP 40

IP 40

标准




CE 合规


EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS

EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS

EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS

ETL 认证




零件号

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