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新型 B-A型真空计

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新型 B-A型真空计

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  • 零件号
  • 耗材

新型 B-A型真空计

对于只需要单独的热阴极真空测量的应用环境,INFICON提供单一BA热阴极的真空规管。

产品

  • BAG402 中真空至超高真空真空计

益处

  • 测量范围从 5×10-10 mbar 到 2.7×10-2 mbar(3.75×10-10 Torr 到 5×10-2Torr)

  • 出色的可重复性,在 10-8 … 10-2 mbar 工艺压力范围内为 5%

  • 过压检测保护,防止灯丝烧毁

  • 两根长寿命氧化铱灯丝

  • 发射电流选择,降低控制的繁琐

  • 植入校准数据的传感器元件可确保规管的高精准性,并且易于更换

  • 符合RoHS

典型应用

  • 半导体工艺和传送腔室的压强测量

  • 工业镀膜

  • 从低真空到超高真空范围的普通真空测量及控制


规格

类型

BAG402



测量范围 (空气, 氧2, 一氧化碳, 氮2)

5×10-10 … 2.7×10-2

精度


10-8 … 10-2 毫巴

% of reading

±15

重复性


10-8 … 10-2 毫巴

% of reading

5

除气 (1)


p < 7.2 × 10-6

mbar

electron bombardment, max。 3 min

压强, 最大

bar (absolute)

2

温度


操作 (环境)

°C

0 … +50

储存

°C

-20 … +70

法兰口的烘烤,不带BPG402-S电子单元

°C

80

供电电压

+20 … +28

输出信号模拟 (4)


输出信号

V

0 … +10

测量范围 log / lin

V

0 … +9

电压 vs. 压强

volts per decade

1

错误信号

V

> +10

负载阻抗, 最小

kΩ

10

第二模拟输出


none

设点继电器


设定点数量


none

范围



继电器触点



滞后



触点额定值



数字功能


degas and emission

接口 (数字) (2)


Diagnosis port

发射控制


manual

灯丝


two Yttriumoxid (Y2O3) coated Iridium (Ir)

灯丝状态 / 继电器


LED / relay

电气连接


D-Sub, 9-pin, male

电缆长度,最大值

m (ft。)

100 (330)

暴露于真空中的材料


Y2O3, Ir, Pt, Mo, NiFe, NiCr, stainless steel, glass

内部容积 KF / CF

cm³ (in.³)

24 (1.46) / 34 (2.1)

重量 KF / CF

g

450 / 710

保护级别


IP30

1)除气期间准确性降低

2)不可同时使用 RS232C 或 VGC40x 系列控制器和现场总线


零件号

BAG402
零件号明细
353-600BAG402 DSUB9 KF25
353-601BAG402 DSUB9 CF40


附件

BAG402
零件号明细

303-333Diagnostic cable 1.9m (P3)


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