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环境电容式膜片真空计

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环境电容式膜片真空计

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  • 规格
  • 零件号
  • 耗材

环境电容式膜片真空计

温度补偿,不依赖环境


产品

SKY® CDG025D 0。1 。。。 1000 托 / 毫巴


Fully compatible with CTR 100 transmitters

全刻度范围从 100 毫托 … 1000 托

电源接通后快速稳定

暴露于大气压后快速恢复

防腐陶瓷传感器

卓越的长期信号稳定性

温度补偿

传感器防污染保护

一键调零功能

电源范围广

典型应用

用于刻蚀、CVD、PVD、ALD 的半导体生产设备

数据存储和显示制造设备

工业真空设备

常规高精度压力测量

新闻

CDG025D series is 100% drop in replacement for CTR 100 vacuum transmitters.


规格

类型

1000 Torr / 1100 mbar

500 ... 10 Torr / mbar

1 Torr / mbar

0。25 Torr

0.1 Torr / mbar



精度 (1)

% of reading

0.2

0.2

0.2

0.25

0.5

温度效应






零点

percent FS/°C

0。005

0.005

0.015

0.02

0.02

满量程

% of reading / °C

0。01

0。01

0.01

0.03

0.03

分辨率

percent FS

0.003

0.003

0.003

0.003

0.003

压力,最大

kPa (absolute)

400

260

260

130

130

反应时间 (2)

ms

30

30

30

130

130

最低读数

percent FS

0。01

0.01

0.01

0.01

0.01

建议的最低读数

percent FS

0。05

0.05

0.05

0。05

0。05

建议的最低控制压力

percent FS

0。5

0.5

0。5

0.5

0。5

温度






运行(环境)

°C

+5 … +50

+5 … +50

+5 … +50

+5 … +50

+5 … +50

在法兰处烘烤 (3)

°C

≤110

≤110

≤110

≤110

≤110

贮存

°C

–40 … +65

–40 … +65

–40 … +65

–40 … +65

–40 … +65

电源电压

V (dc)

+14 … +30

+14 … +30

<select class="input-small" name="ModelDDL" style="font-size: 21.6px; margin: 0



1000 Torr / 1100 mbar
零件号明细
375-000CDG025D 1`000 Torr; 1/2¨tube
375-001CDG025D型陶瓷薄膜规
375-002CDG025D 1`000 Torr; DN16CF-R
375-003CDG025D 1000 Torr; 8-VCR
376-000CDG025D 100 Torr; 1/2¨tube
376-001CDG025D 100 Torr; DN16ISO-KF
376-002CDG025D 100 Torr; DN16CF-R
376-003CDG025D 100 Torr; 8-VCR
377-000CDG025D 10 Torr; 1/2¨tube
377-001CDG025D型陶瓷薄膜规
377-002CDG025D 10 Torr; DN16CF-R
377-003CDG025D 薄膜规
378-000CDG025D 1 Torr; 1/2¨tube
378-001CDG025-D薄膜规
378-002CDG025D 1 Torr; DN16CF-R
378-003CDG025D型陶瓷薄膜规
379-000CDG025D 0。1 Torr; 1/2¨tube
379-001CDG025D 0.1 Torr; DN16ISO-KF
379-002CDG025D 0.1 Torr; DN16CF-R
379-003CDG025D 0.1 Torr; 8-VCR
383-001CDG025D 20 Torr; DN16ISO-KF


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