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反磁控管皮拉尼真空计

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反磁控管皮拉尼真空计

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反磁控管皮拉尼真空计

反磁控管和皮拉尼真空计原理组合可测量从大气压到 5 x 10-9 毫巴的高真空压力


产品

MPG40x 大气压至超高真空真空计


Direct replacement for PTR 90 Vacuum Transmitters

复合真空计 – 倒置磁控管与皮拉尼

测量范围广,从 5 x 10-9 毫巴到大气压

不会出现单丝烧毁的现象

卓越的点火属性

易于清洁

FPM 或金属密封馈入装置

高压 LED 指示灯

对数模拟输出信号

典型应用

高真空压力监控

蒸发系统和溅射系统的基本压力

中高真空范围内的一般真空测量和控制

新闻

MAG400 series is direct replacement for PTR 90 Vacuum Transmitters


规格

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类型MPG400 FPM sealed
精度 (N2)
1 x 10-8 … 100 毫巴% of reading≈±30%
可重复性
1 x 10-8 … 100 毫巴% of reading≈±5%
安装定位
any
容许压力bar (absolute)≤10 (limited to inert gases)
容许温度
运行(环境)°C+5 … +55
贮存°C–40 … +65
烘烤 (1)°C150
单丝温度(皮拉尼)°C120
电源电压
真空计上V (dc)+15 … +30
缆线最长的电源装置 (2)V (dc)+16 … +30
波纹V (p-p)≤1
功耗W≤2
可连接的保险丝AT≤1
输出信号(测量信号)
电压范围V0 … +10.5
测量范围V+1.82 … +8.6
电压与压强
logarithmic, 0.6 volts per decade
错误信号
无电源V<0。5
皮拉尼传感器,单丝断裂V>9.5
输出电阻2 x 10
最小负载电阻kΩ10, short-circuit proof
反应时间
p > 10-6 毫巴ms<10
p = 10-8 毫巴ms≈1000
识别真空计
85, referenced to supply common
状态
仅皮拉尼模式V0 (low)
复合皮拉尼 / 冷阴极模式V15 … 30 (high)
LEDLED greenhigh voltage on
电气连接
FCC 68 appliance connector, 8 poles, female
传感器电缆
8 poles plus shielding
电缆长度m≤50 (8 x 0.14 mm2)
运行电压kV≤3.3
运行电流µA≤500
暴露于真空的材料
stainless steel, Al2O3, FPM75, Mo, Ni, Au, W
内部容积cm³≈20
重量
DN 25 ISO-KFg≈700
DN 40 ISO-KFg≈720
DN 40 CF-Fg
MPG400 FPM sealed
零件号明细
351-010MPG400 真空计
351-011MPG400 DN 40 ISO-KF
351-012MPG400 DN 40 CF-F
351-998维修包
351-995起辉器
351-994MPG40X 点火单元
351-999维修保养套件
211-113中心圈 with baffle DN 25 KF


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